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一起来看看等离子体表面处理仪怎么用

日期:2022-08-02 11:04:51

很多小伙伴都在问等离子体表面处理仪怎么用,今天就纳恩科技的小编来教教大家怎么使用等离子体表面处理仪吧,跟着下面的操作步骤一步步走,很快就能学会。


等离子体表面处理仪使用操作步骤如下:


1.等离子体表面处理仪自动状态下运行处理使用方法

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图一 系统控制入口

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 图二 主机界面

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图三 参数画面

1、开机后,点击“系统控制入口”(图 1)进入“主机界面”(图 2), 右上角默认为“自动状态”;点击“参数画面”(图 3),进入“参 1. 数设置页面一”修改清洗时间或清除清洗数量,根据实验需求开启 或关闭 A 气体和 B 气体。

2、点击“自动画面”返回主机界面(图 2)。

3、调节功率,功率调节范围 60%-100%,根据实验需求进行调节。

4、 将被处理物放置真空腔内,关好腔门,按下启动按钮,开始抽真空。

5、待腔体产生辉光,根据实验需求,手动调节流量计旋钮添加辅助性气体。

6、到达设置好的处理时间后,平衡阀自动复原,5 秒左右恢复常压,无进气声响时,可打开腔门。

7、打开腔门,取出被处理物,一个自动处理过程结束。


以上各命令都可在键下终止,回到复位状态。所有数字量都可自 由调整,确认键后数据会记忆保存,断电不丢。


备注:“参数设置页面”(图 3)显示的“参数画面二”为厂家出厂时 已设置好的一些基本报警功能,无特殊情况无需进入更改,如定要修改可点击登录密码“9999”后进入调整。


真空未到最大等待时间是指抽真空时间到达指定时间后,真空度仍不 好时会产生报警,提醒需检查设备是否有漏气的风险。 

清洗完毕后大气阀打开时间是指清洗完毕后设定的破真空时间。 

射频开启前开启 AB 气体时间长度是指 AB 气体需开启一段时间后射频电源再开启。

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(图 4 参数画面二)

2.等离子体表面处理仪手动状态下运行处理使用方法:

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(图 5 手动画面)

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(图 6 手动画面 1)

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(图7 手动画面)

1、将被处理物体放置到腔体内,关好仓门。

2、调节功率,功率调节范围 60%-100%,根据实验需求进行调节。

3、开机后,进入“ 系统控制入口”(图 1),点击屏幕“手动画面”, 进入手动页面,开启手动状态,当右上角的“手动状态”显示 为黄色时,证明已切换成功。

4、手动点击开启真空泵,开始抽真空。(图 5)

5、当真空度显示 OK 后,手动开启射频电源,开始发出辉光,物体 进入清洗过程。(图 5)

6、根据实验需求,手动开启气体 A 或者气体 B 的阀门开关,手动 调节流量计旋钮添加辅助性气体。(图 5)

7、当到达所需的处理时间时,手动依次关闭射频电源,阀门,真 空泵,开启平衡阀进行破真空。(图 5)

8、当腔内恢复常压,无进气声响时,点击清洗完成(如图 7), 手动打开腔门取出被处理物,一个手动处理过程结束。

注意:手动画面(图 5)和手动画面 1(图 6)的操作步骤是一样的, 只是显示界面不一样。在手动状态下,真空泵,射频电源,阀门,平 衡阀等,每一步都需要进行手动开启和关闭才能操作。


以上就是纳恩科技小型等离子体表面处理仪的使用操作步骤,如果看了以上内容还不会使用的话,可以联系我们进行远程操作指导。