等离子体表面处理仪不辉（发）光

等离子体表面处理仪不辉光有可能是以下几种情况造成的，可以通过排查确认哪里出了问题，如果还是解决不了，建议找厂家解决问题，一般像我们的设备都是质保一年的，所以完全不用担心售后问题。

1）实验室电压不稳，设备保险丝熔断； 

2）等离子主机射频电源故障，无法提供产生辉光所需的射频光源； 

3）真空密封性可能存在漏气问题，无法达到产生辉光所需的真空负压环境；

等离子体表面处理仪不起辉主要有两个方面：

一是真空度不够，仪器正常工作时真空度一般在70-100Pa之间。

二是主机设备出现故障，你可以找一个短一点的日光灯管代替反应舱。将其放入舱体内。开主机电源、开功率旋钮，观察灯管是否有产生辉光。（此时反应舱体应该为常压，即不抽真空）如果灯管没有产生辉光，即仪器有问题，检差射频电源等相关电子部分（最好请厂家帮助检查）。如果灯管产生辉光即真空部分有问题，检查真空系统（如真空管接口是否松动，真空管是否老化漏气等等）。

如果是保险丝熔断，可以直接更换保险丝就行。

以上就是等离子体表面处理仪不发光的可能原因及解决办法，能找售后尽量找售后，上面内容仅供参考。