等离子体表面处理仪使用方法

等离子体表面处理仪使用方法如下：

1、进入“主机界面”（图 1主机界面），点击“下一页”进入“功能画面”选择“参数页面”，进入参数画面，系统参数设定是通过触摸式一体化机完成的，其中射频功率、清洗时间、充气种类、充气数量等都可通过触摸屏设定，如果需要混合气体清洗，可选择对应的不同充气管路，并分别设置充气流量，抽气本底压强等中间控制点，可通过真空计设置。

2、返回主机界面。点击“下一页”进入“手动页面”将气体阀门设置为打开状态。

3、调节功率，功率调节范围 80%-100%，可根据实验需求进行调节。

4、将被处理物放置真空腔内，关好腔门，按下启动按钮，打开真空泵开始抽取真空，当腔体内气压低于 100Pa 时打开射频电源。

5、待腔体产生辉光，根据实验需求，手动调节流量计旋钮添加辅助性气体。

6、到达处理时间后，平衡阀自动复原，10 秒左右恢复常压，无进气声响时，腔门自动打开。

7、打开腔门，取出被处理样品，一次处理流程至此结束。